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綜合量測

首頁 產(chǎn)品與技術 測試系統(tǒng)

ATS

晶圓級全自動量測解決方案

自動測量系統(tǒng) 軟硬協(xié)同 多功能測試

ATS是概倫電子基于FS-Pro半導體參數(shù)分析儀和自研硬件設備及測量控制軟件開發(fā)的一套全自動電性量測解決方案。

  • 可根據(jù)使用需求靈活的集成多種軟硬件，測量涵蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、脈沖式IV、高速時域信號采集、低頻噪聲測試以及多種可靠性測試。

  • 通過概倫自主研發(fā)的低漏電矩陣開關和測量控制軟件，可支持多種業(yè)界主流型號的探針臺，實現(xiàn)半自動或全自動的晶圓級測試，適用于多種自動化量測場景。

  • 廣泛應用于晶圓級電學參數(shù)測試，測量控制軟件內建大量電性參數(shù)測試設置，可快速實現(xiàn)Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等參數(shù)的全晶圓器件測試。

  • 適用于器件模型數(shù)據(jù)測試需求，一套系統(tǒng)即可完成包括IV、CV和1/f噪聲等特性的測試，為建立SPICE模型提供全面數(shù)據(jù)支持和高效高質量的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

  • 在晶圓級可靠性測試方面，測量軟件內置符合JEDEC標準的HCI、BTI、TDDB、Ramp測試算法，并支持多點位測試，保證全晶圓器件可靠性的準確評估。

  • 支持TFT電學特性測試和應力測試，包括TFT轉移特性、輸出特性、接觸電阻、CV特性以及BTS和電流應力測試。

下載產(chǎn)品單頁

產(chǎn)品亮點

  • 功能全面

    滿足直流IV測試、
    脈沖式IV測試、瞬態(tài)時域測試、
    高速波形發(fā)生與測量、電容測試、
    低頻噪聲和可靠性測試等多種需求

  • 快速高效

    保持精度的同時大幅提升測試速度
    支持多通道并行測試
    極大提升了測試效率
    輕松應對高密度測試

  • 靈活搭配

    采用模塊化硬件架構
    在保持緊湊機身的同時
    可依照需求擴展
    滿足實驗室復雜多變的測試需求

  • 友好便捷

    測量控制軟件LabExpress
    直觀的圖形化界面
    用戶友好
    擴展性強

  • 功能強大

    內置測試算法庫
    完成強大測試分析功能
    允許用戶編寫腳本
    實現(xiàn)自定義測試流程

  • 軟硬協(xié)同

    軟件能輕松控制多種探針臺
    和矩陣開關設備
    方便完成晶圓級數(shù)據(jù)的
    自動測試任務

產(chǎn)品應用

  • 晶圓級
    電學參數(shù)測試

  • 晶圓級
    可靠性測試

  • 器件模型
    數(shù)據(jù)測試

  • TFT電學特性
    & 應力測試

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